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杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司半導(dǎo)體大硅片（200mm、300mm）項目環(huán)境影響評價環(huán)保公示
2018-03-12

 

一、項目概況
項目名稱：杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司半導(dǎo)體大硅片（200mm、300mm）項目
建設(shè)單位：杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
建設(shè)地點：浙江省杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)智造谷以東、江東七路以南、錢江直河以西、臨鴻路橫河以北。
建設(shè)內(nèi)容和規(guī)模：項目用地性質(zhì)為工業(yè)用地，地上建筑面積控制166936.8~278228平方米，項目建成后形成年產(chǎn)360萬片200mm半導(dǎo)體硅片和年產(chǎn)240萬片300mm半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)能力。項目估算總投資600000萬元，其中建設(shè)投資539700萬元，流動資金50000萬元。
二、環(huán)境影響分析
1、環(huán)境空氣影響預(yù)測與評價
本項目主要廢氣主要為磨片后清洗(1)工段產(chǎn)生含鹽酸酸霧廢氣；磨片后清洗(5)工段、堿性蝕刻（1）工段產(chǎn)生含氫氧化鈉的堿性廢氣；CP后清洗（1）CVD前清洗（1）貼付前清洗（1）洗凈（1）工段產(chǎn)生含氨廢氣；CP后清洗（3）、CVD前清洗（3）、CVD后端面處理（2）洗凈（3）工段產(chǎn)生含氟化物廢氣；化學(xué)（CP）腐蝕產(chǎn)生含氟化物、氮氧化物、醋酸廢氣；氣相成碳工段產(chǎn)生含硅烷和顆粒物的廢氣。含堿性、酸性廢氣通過二級噴淋處理后排放；含氮氧化物廢氣經(jīng)三級噴淋處理達標后排放，對大氣環(huán)境影響不大。
2、水環(huán)境影響評價
項目廢水主要為生活污水及生產(chǎn)工藝廢水，工藝廢水主要來自倒角、磨片、CVD后端面處理、ML的清洗廢水；磨片后清洗、堿性蝕刻的酸堿廢水；化學(xué)腐蝕及清洗；CP后清洗（3）、（4）；CVD后端面處理（2）、（3）；洗凈（3）（4）；廢氣噴淋塔排污的含氟廢水；CP后清洗（1）、（2）；CVD前清洗（1）、（2）；貼付前清洗（1）、（2）；洗凈（1）（2）的含氨廢水；廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站預(yù)處理達到《污水綜合排放標準》三級標準后送臨江污水處理廠處理。
3、聲環(huán)境影響評價
根據(jù)預(yù)測，項目對各廠界晝、夜噪聲貢獻不大，能滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）3類標準要求，對周圍聲環(huán)境影響不大。
4、固廢處置環(huán)境影響評價
本項目危險廢物均委托有危廢處置資質(zhì)的單位處理處置，一般固廢綜合利用，生活垃圾由當?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一收集處理。各固體廢物均得到妥善處理處置，無固體廢物直接排放環(huán)境，對周圍環(huán)境影響較小。
 
三、預(yù)防和減輕不良環(huán)境影響的對策和措施要點
本項目污染防治對策匯總表見表2。
表2 本項目污染防治對策匯總表
分類
對策措施說明
廢水
廢水收集系統(tǒng)
全廠實施雨、污分流；清、污分流。
廢水處理工程
①新建廢水處理站，采用清洗污水回收+廢水物化+生化處理工藝，經(jīng)處理達標后納入市政污水管網(wǎng)，最終排入臨江污水處理廠。
②生活污水經(jīng)過隔油池+化糞池處理后排入市政污水管網(wǎng)，最終排入臨江污水處理廠。
廢氣
廢氣處理系統(tǒng)
含堿性、酸性廢氣通過二級噴淋處理后排放；含氮氧化物廢氣經(jīng)三級噴淋處理達標后排放。
固廢
工業(yè)固廢、生活垃圾
①危險廢物委托有危廢處置資質(zhì)的單位處理處置。
②一般固廢外售進行綜合利用；生活垃圾委托環(huán)衛(wèi)部門清運。
③本項目建成后按照固體廢物的性質(zhì)進行分類收集和暫存。其中危險固廢按《危險廢物貯存污染控制標準》（GB18597-2001）及2013年修改清單相關(guān)要求執(zhí)行，一般固廢堆場按《一般工業(yè)固體廢物貯存、處置場污染控制標準》（GB18599-2001）及2013年修改清單相關(guān)要求執(zhí)行。
噪聲
生產(chǎn)車間
①合理布局，選用低噪設(shè)備，對高噪設(shè)備進行消聲減震和隔聲處理，降低噪聲對廠界的影響。
②加強噪聲設(shè)備的維護管理，避免因不正常運行所導(dǎo)致的噪聲增大。
③綠化降噪。
 
四、環(huán)評結(jié)論
杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司半導(dǎo)體大硅片（、）項目符合國家產(chǎn)業(yè)政策導(dǎo)向、環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃；在營運過程中產(chǎn)生一定量的水、氣、聲、固廢等污染物，經(jīng)處理后能做到達標排放要求，排放污染物符合國家、省規(guī)定的污染物排放標準，并符合國家、省規(guī)定的主要污染物排放總量控制指標；處理達標后的污染物對環(huán)境的影響是可以承受的，符合建設(shè)項目所在地環(huán)境功能區(qū)劃確定的環(huán)境質(zhì)量要求。因此項目只要在建設(shè)和營運過程中，認真落實本報告提出的各項污染防治措施，認真執(zhí)行各項環(huán)保法規(guī)、制度，從環(huán)境影響的角度來看，本項目是可行的。
五、公眾了解項目環(huán)保信息的方式
公眾(個人或團體)如要了解本項目的環(huán)境影響情況，可以信函、電話或其他方式與建設(shè)單位、環(huán)評單位、環(huán)保部門聯(lián)系索要本項目的環(huán)境影響報告書簡本，建議團體單位加蓋公章，個人應(yīng)具名并說明聯(lián)系方式。公眾對該項目建設(shè)的意見或建議，可在公示之日起十個工作日內(nèi)，向環(huán)評單位或環(huán)保主管部門提出，環(huán)評單位將在《環(huán)境影響報告書》中真實記錄公眾的意見和建議，并將公眾的寶貴意見、建議向工程的建設(shè)單位、設(shè)計單位和有關(guān)部門反映。公示時間為2017年3月12日-2018年3月24 日。
(1)建設(shè)單位：杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司， 電話：13175059618，許工
(2)環(huán)評單位：浙江省環(huán)境科技有限公司， 電話：0571-87995270，覃工
(3)審批部門：大江東經(jīng)發(fā)局，              電話：0571-82987912
[注]：請公眾在發(fā)表意見的同時盡量提供詳盡聯(lián)系方式。
 
 
 
杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
2018年3月12日