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単結(jié)晶爐
単結(jié)晶爐

Ferrotec（中國）単結(jié)晶爐

不活性ガスの雰囲気中で、石英ルツボ內(nèi)に多結(jié)晶シリコンをチャージした狀態(tài)を、獨(dú)自設(shè)計のホットゾーンを用い、真空高溫下で溶融します。製造方式はCZを採用し、全ての工程は自動制御で実施可能により、品質(zhì)の安定性、人材の低減及び人的ミスを減らす事から可能です。また、集中管理システムを採用する事に依り、自動的に管理データの収集、分析を?qū)g現(xiàn)します。
単結(jié)晶爐分類
Ferrotec（中國）自主開発した単結(jié)晶引上裝置、特に半導(dǎo)體用途の裝置は門型構(gòu)造を採用する事に依り、剛性を高めた事に依り、運(yùn)転時の裝置安定性が極めて高いです。駆動系は電動/エアー方式を採用、コラムの駆動に関しては軸受にオイルレス機(jī)構(gòu)を採用している事から、汚染を抑える事が可能です。また、超電導(dǎo)マグネットを搭載する事に依り、8/12インチ結(jié)晶の品質(zhì)を効率良く高める事が可能です。シリーズには異なるモデルがあり、必要用途に合わせた選択を可能としています。
ソーラー結(jié)晶用途単結(jié)晶爐FT-CZ1200Pv
ソーラー結(jié)晶用途単結(jié)晶爐FT-CZ1200Pv
シリコン構(gòu)造材用途単結(jié)晶爐FT-CZ1400Si
シリコン構(gòu)造材用途単結(jié)晶爐FT-CZ1400Si
半導(dǎo)體用途単結(jié)晶爐FT-CZ1200Se/1400Se
半導(dǎo)體用途単結(jié)晶爐FT-CZ1200Se/1400Se
人間的デザイン
人間的デザイン
管理、操作およびメンテナンスの利便性
管理、操作およびメンテナンスの利便性
全自動、安全性、均一性
全自動、安全性、均一性
安定、清潔
安定、清潔
Ferrotec単結(jié)晶爐利點(diǎn)
安定、清潔,全自動、安全性、均一性、管理、操作およびメンテナンスの利便性、人間性の設(shè)計；溶接技術(shù)は日本のJIS規(guī)格を採用し、チャンバーを二重構(gòu)造の水冷式設(shè)計を行って降り、圧力変化等の異常時に於いても、リリーフ弁、及び裝置構(gòu)造により安全を確保します。各裝置には、集中管理システム用の接続コネクターを裝備している事から採用する事に依り集中監(jiān)視/管理を行う事が出來ます。
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単結(jié)晶爐パラメータ
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連絡(luò)先番號： 021-36160062
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Matrix diagram of applications in various fields
領(lǐng)域別の適用のマトリクス図
製品の生産拠點(diǎn)