在這個科技進步飛速的時代，每一項創(chuàng)新都是對未來的堅定探索！上海漢虹精密機械有限公司的“12英寸半導體單晶爐”項目，憑借其卓越表現(xiàn)，斬獲由國家科技主管單位權威認證、中國發(fā)明學會精心設置的“發(fā)明創(chuàng)業(yè)項目獎”銀獎殊榮，這是對技術革新能力的高度贊譽，也是產學研緊密結合、追求高質量發(fā)展的亮麗標志！

    在激烈競爭中，漢虹的12英寸半導體單晶爐自2248個項目中嶄露頭角，經過嚴格篩選與評審，與全球前沿創(chuàng)新成果比肩，共繪科技創(chuàng)新的宏偉圖景。

    這一榮耀，緊接著“第34屆上海市杰出發(fā)明選拔賽金獎”及“第六屆中國（上海）國際發(fā)明創(chuàng)新博覽會金獎”之后，漢虹再次以其實力書寫輝煌，有力證明了中國半導體裝備制造行業(yè)的蓬勃興起！

    2022年12月，12英寸半導體單晶爐從眾多創(chuàng)新成果中脫穎而出，一舉摘得“優(yōu)秀發(fā)明金獎”這一殊榮。該獎項由上海市總工會、上海市知識產權局、共青團上海市委員會、上海市科學技術協(xié)會及上海發(fā)明協(xié)會等多家權威機構聯(lián)袂頒發(fā)，其含金量不言而喻，是對獲獎技術在創(chuàng)新性、實用性和行業(yè)引領價值上的高度認可。

    12英寸半導體單晶爐在國際發(fā)明創(chuàng)新展覽會上榮膺金獎，這一榮譽不僅是對技術創(chuàng)新力的高度認可，更是全球范圍內該領域高水平的標志。該展覽盛會由商務部、科技部、國家知識產權局和上海市政府共同主辦，聯(lián)合國工業(yè)發(fā)展組織、聯(lián)合國開發(fā)計劃署、世界知識產權組織支持，是我國首個集技術展示和交易服務為一體的國家級、國際性、綜合性展會。 

漢虹12英寸半導體單晶爐：超越局限，引領前行之路！

-1 技術躍進-

采用先進32英寸大尺寸熱場設計，結合GSim熱模擬技術，熱場結構革新，效率與節(jié)能并舉；

-2 純凈優(yōu)化-

內置智能真空排氣系統(tǒng)，自動化去除氧化物，確保生產流程更純凈；

-3 工藝革新-

獨有氣囊密封技術及水平開閉真空水冷旋板閥，解決工藝氣體控制難點，確保晶體直徑恒定，降低不良品產出；

-4 雙層防護-

創(chuàng)新雙層水冷套系統(tǒng)，強化冷卻效能同時有效清除氧化物，促進晶體更優(yōu)成長；

-5 精確控制-

德國高精度激光液口距檢測反饋控制系統(tǒng)，液面到熱屏距離精控誤差僅±0.5mm，為拉晶過程保駕護航；

-6 精妙升降-

應用高精度升降機模組驅動，實現(xiàn)四軸同步升降的磁場裝置，確保穩(wěn)定無振動，無異響，提升操作的可靠性；

-7 自動校準-

一體化重錘籽晶夾頭裝置，創(chuàng)新錐面接合設計，大幅提升籽晶與夾頭的貼合度，提升工作效率和產品品質，保證安裝可靠性和一致性。