精密洗凈技術(shù)
為應(yīng)對不斷提升的半導(dǎo)體制程要求,依托美國、日本等技術(shù)支持,成功完成陶瓷溶射工藝的研發(fā)并量產(chǎn),擁有國際先進的洗凈生產(chǎn)線,努力搶占半導(dǎo)體、TFT產(chǎn)業(yè)技術(shù)制高點。
表面處理事業(yè)部成立
成功研發(fā)并量產(chǎn)350nm線寬半導(dǎo)體PVD、CVD制程部品洗凈工藝并著手研發(fā)半導(dǎo)體ETC部門部品洗凈工藝
成功研發(fā)并量產(chǎn)250nm線寬半導(dǎo)體PVD、CVD、ETC制程部品洗凈工藝;建立獨立實驗室,研發(fā)半導(dǎo)體更精進洗凈工藝
著手研發(fā)DIF、LIT部門制程部品洗凈工藝
開始涉足TFT部品洗凈,成功完成半導(dǎo)體各部門機臺部品洗凈工藝并標(biāo)準(zhǔn)化
為多家半導(dǎo)體及TFT廠提供部品清洗服,完善TFT制程部品洗凈工藝
成立第一家子公司-----天津富樂德科技發(fā)展有限公司
成功量產(chǎn)45nm線寬半導(dǎo)體制程部品洗凈技術(shù),成功量產(chǎn)8.5代線TFT部品清洗技術(shù)
成立第二家子公司----四川富樂德科技發(fā)展有限公司,成功研發(fā)并量產(chǎn)28nm線寬半導(dǎo)體制程部品洗凈技術(shù)
第三家子公司----富樂德科技發(fā)展(大連)有限公司正式投入生產(chǎn),研發(fā)并量產(chǎn)10.5代LCD部品洗凈工藝;完善陶瓷溶射工藝并實現(xiàn)量產(chǎn)
著手研發(fā)6代OLED制程部品洗凈工藝,著手研發(fā)半導(dǎo)體16nm制程部品洗凈工藝
富樂德(大連)建立大連工廠表面處理分析實驗室雛形,投入超聲波斷層掃描顯微鏡,CMM,He detector,電位滴定儀,LPC及ICP MS等高科技設(shè)
并建立高純石英線,高端設(shè)備上線