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冷水機(jī)chiller系列
冷水機(jī)chiller

特殊液體冷水機(jī)系列（熱交換器）

本產(chǎn)品是為晶圓清洗、刻蝕、等化學(xué)品保溫開發(fā)的專用溫控器，產(chǎn)品由電控單元與換熱單元兩部分組成，通過對采集到的熱交換器內(nèi)部的化學(xué)品循環(huán)液溫度與設(shè)定溫度的差異變化，進(jìn)行 PID 控制運(yùn)算，實現(xiàn)對化學(xué)品循環(huán)液溫度的控制。
本產(chǎn)品適用化學(xué)液體（參考）：10~60℃堿性溶液（5%以下氨水，20%以下過氧化氫、50%以下氫氧化鈉） 10~40℃酸性溶液（10%以下 HF，96%以下濃硫酸，5%以下鹽酸、5%以下硝酸等） 使用混合液時需要提供混合比例，試驗確認(rèn)可行性。
與化學(xué)品接觸材質(zhì)符合 SIMI F57 要求。
半導(dǎo)體式冷水機(jī)系列
本款產(chǎn)品主要基于本司制冷片產(chǎn)品，利用帕爾貼效應(yīng)進(jìn)行升降溫控制，區(qū)別于傳統(tǒng)壓縮機(jī)制冷 方式，該型水冷設(shè)備噪音小，無需添加冷媒，穩(wěn)定控制狀態(tài)節(jié)能環(huán)保，具備定時運(yùn)轉(zhuǎn)，低液位報警、 停電復(fù)歸、水泵防凍、遠(yuǎn)程控制、數(shù)據(jù)可顯可導(dǎo)等多種控制功能。
FCP30021A
FCP30021A
本設(shè)備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據(jù)需求定制，控制精度可達(dá)0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報 警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實現(xiàn)RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP60022A
FCP60022A
本設(shè)備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據(jù)需求定制，控制精度可達(dá)0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報 警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實現(xiàn)RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP30023W
FCP30023W
本設(shè)備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據(jù)需求定制，控制精度可達(dá)0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報 警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實現(xiàn)RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP60024W
FCP60024W
本設(shè)備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據(jù)需求定制，控制精度可達(dá)0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報 警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實現(xiàn)RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP60024L30W
FCP60024L30W
本設(shè)備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據(jù)需求定制，控制精度可達(dá)0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報 警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實現(xiàn)RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
FCP90026W
FCP90026W
本設(shè)備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據(jù)需求定制，控制精度可達(dá)0.05℃，適用于溫 濕度控制良好的環(huán)境，具有定時運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報 警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實現(xiàn)RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
壓縮機(jī)式冷水機(jī)系列
本設(shè)備為壓縮機(jī)式冷水機(jī)，采用知名品牌壓縮機(jī)，性能穩(wěn)定且優(yōu)異，出水口控溫精度可達(dá)0.1℃，可選配組件實現(xiàn)多路輸出，帶多路負(fù)載，適用于溫濕度控制良好的環(huán)境，節(jié)能環(huán)保，操作簡單，具有定時運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實現(xiàn)I/O、RS232、RS485等多種不同通訊方式控制。
FCCA0152204
FCCA0152204
本設(shè)備為壓縮機(jī)式冷水機(jī)，采用知名品牌壓縮機(jī)，性能穩(wěn)定且優(yōu)異，出水口控溫精度可達(dá)0.1℃，可選配組件實現(xiàn)多路輸出，帶多路負(fù)載，適用于溫濕度控制良好的環(huán)境，節(jié)能環(huán)保，操作簡單，具有定時運(yùn)轉(zhuǎn)、溫度補(bǔ)償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠(yuǎn)程控制方便，可以實現(xiàn)I/O、RS232、RS485等多種不同通訊方式控制。
FCCA0242202
FCCA0242202
本設(shè)備為壓縮機(jī)式冷水機(jī)，采用知名品牌壓縮機(jī)，性能穩(wěn)定且優(yōu)異，出水口控溫精度可達(dá)0.1℃，可選配組件實現(xiàn)多路輸出，帶多路負(fù)載，適用于溫濕度控制良好的環(huán)境，節(jié)能環(huán)保，
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冷水機(jī)產(chǎn)品介紹手冊
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體積小巧
體積小巧
精確控溫
精確控溫
智能報警
智能報警
遠(yuǎn)程控制
遠(yuǎn)程控制
chiller系列產(chǎn)品優(yōu)點
半導(dǎo)體制冷片（TEC），是由許多微小而有效的熱泵組成的半導(dǎo)體器件。通過施加一個低壓直流電，熱量將從TEC的一面轉(zhuǎn)移到另一面，從而產(chǎn)生TEC一面變冷另一面變熱的現(xiàn)象，使用多對半導(dǎo)體原件串聯(lián)形成制冷器單元，實現(xiàn)吸熱，溫度下降的現(xiàn)象，以其快速響應(yīng)和冷熱面轉(zhuǎn)換來實現(xiàn)高精度的溫度控制。
應(yīng)用場景
  • 蝕刻裝置 清洗機(jī) 顯影機(jī)
    蝕刻裝置 清洗機(jī) 顯影機(jī)
  • 激光焊接機(jī) 激光器 激光打標(biāo)機(jī) 金屬3D打印
    激光焊接機(jī) 激光器 激光打標(biāo)機(jī) 金屬3D打印
  • 弧焊 實驗測試機(jī) 工業(yè)加工中心
    弧焊 實驗測試機(jī) 工業(yè)加工中心
  • 包裝機(jī) 印刷機(jī) 醫(yī)療設(shè)備
    包裝機(jī) 印刷機(jī) 醫(yī)療設(shè)備
蝕刻裝置 清洗機(jī) 顯影機(jī)
激光焊接機(jī) 激光器 激光打標(biāo)機(jī) 金屬3D打印
弧焊 實驗測試機(jī) 工業(yè)加工中心
包裝機(jī) 印刷機(jī) 醫(yī)療設(shè)備
蝕刻裝置 清洗機(jī) 顯影機(jī)
蝕刻裝置 清洗機(jī) 顯影機(jī)
激光焊接機(jī) 激光器 激光打標(biāo)機(jī) 金屬3D打印
激光焊接機(jī) 激光器 激光打標(biāo)機(jī) 金屬3D打印
弧焊 實驗測試機(jī) 工業(yè)加工中心
弧焊 實驗測試機(jī) 工業(yè)加工中心
包裝機(jī) 印刷機(jī) 醫(yī)療設(shè)備
包裝機(jī) 印刷機(jī) 醫(yī)療設(shè)備
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地