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Ferrotec - 密封領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者

磁流體真空傳動裝置是把旋轉(zhuǎn)運(yùn)動傳入真空容器的一種部品解決方案，杜絕了氣體泄漏和污染，適用于對密封要求很高的場合。如今，在許多需要自由控制進(jìn)給的裝置上，真空傳動裝置已得到廣泛應(yīng)用，如在硅生長、目標(biāo)位置電子指示器、濺射、等離子蝕刻、化學(xué)氣相淀積、離子移置技術(shù)、液晶再生過程中，減少了不必要的停機(jī)時(shí)間，具有特殊意義。

磁流體真空傳動裝置

從半導(dǎo)體到FPD、LED，太陽能電池等各種制造設(shè)備領(lǐng)域，F(xiàn)errotec的真空傳動裝置以苛刻環(huán)境中良好的密封性能而得到好評。我們致力于為客戶提供多種類型的真空密封裝置，真空旋轉(zhuǎn)密封裝置，密封組件和密封件的集成，以及真空環(huán)境下密封傳動問題的解決方案。

多軸密封傳動裝置

多軸密封傳動裝置主要為機(jī)械手而設(shè)計(jì)，這類產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體的加工和生產(chǎn)，同時(shí)我們也有10-8Torr的超高真空用密封裝置。

集成電機(jī)磁流體真空傳動裝置

Ferrotec提供的FerroDrive集成電機(jī)磁流體真空傳動裝置將一個(gè)密封Ferrofluidic真空磁流體、一個(gè)高精度電機(jī)以及控制器集成起來，為客戶提供一件緊湊且高性能的密封旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。這種設(shè)計(jì)根除了客戶在聯(lián)接分立部件時(shí)遭遇到的整合挑戰(zhàn)以及潛在的機(jī)械故障點(diǎn)。同軸驅(qū)動磁流體裝置經(jīng)典應(yīng)用領(lǐng)域包括：MOCVD、薄膜產(chǎn)業(yè)、光學(xué)鍍膜、離子束沉積、離子束刻蝕、物理氣相沉積、離子濺射、離子注入以及任何需要應(yīng)用電機(jī)的場合，特別是需要伺服電機(jī)的場合。

空心軸密封傳動裝置

空心軸密封傳動裝置有一個(gè)卡箍，它通過0型圈密封把用戶軸和密封裝置的轉(zhuǎn)軸連在一起。運(yùn)用的典型例子就是濺射設(shè)備，其中例如電子、中性子或離子的注入用旋轉(zhuǎn)單元、旋轉(zhuǎn)物架以及X射線和光學(xué)機(jī)器?？招妮S密封傳動裝置有通孔型、法蘭型等，也可以按照用戶的要求進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)或不帶卡箍。

實(shí)心軸密封傳動裝置

我們有多重實(shí)心軸傳動裝置，例如：微型、通孔型、法蘭型、重負(fù)載型，適用于各種場合。除小徑的轉(zhuǎn)軸外，轉(zhuǎn)軸的動力裝配部和用戶安裝部的形狀有標(biāo)準(zhǔn)的鍵槽以外，還能根據(jù)用戶的要求，設(shè)計(jì)、制造多重配合形式，如扁平面、螺紋連接、孔連接等。我們的標(biāo)準(zhǔn)公制密封傳動裝置也有適用于高溫、重負(fù)載、高速場合時(shí)的水冷形式（除一些微型、通孔型磁性流體密封裝置以外）

磁流體真空傳動裝置特性

密封圈特性

磁性流體包圍整個(gè)轉(zhuǎn)軸，成為一個(gè)隔絕空氣、水氣、煙霧等元素的密封圈，幾乎無泄漏，密封圈的泄漏微弱到無法測量，甚至使用質(zhì)譜儀也無法測量（1*10-11torre/sec）

長壽命特性

“液體0型密封圈”由一個(gè)穩(wěn)定的磁性流體構(gòu)成，其裝置可以長期使用10年無需維修。

良好可靠性

密封圈由永磁結(jié)構(gòu)和穩(wěn)定的磁性流體組成，所以機(jī)械磨損僅發(fā)生在軸承上。

無污染特性

因?yàn)槊芊馊o磨損，沒有微粒產(chǎn)生，降低了整個(gè)系統(tǒng)的污染而且低的氣壓可使密封圈便于維修，其真空度可控制在8-10Torr。

最佳的力矩
傳輸特性

力矩可100%的輸送，保證一個(gè)無阻礙的單項(xiàng)運(yùn)動。

低阻尼和
高速旋轉(zhuǎn)能力

磁性流體極低的粘滯阻力和磁性流體進(jìn)給裝置無需接觸密封圈的結(jié)構(gòu)，決定了他的穩(wěn)定操作和高速轉(zhuǎn)動。

磁流體真空傳動裝置定制

當(dāng)因產(chǎn)品開發(fā)遇到技術(shù)瓶頸的時(shí)候，也許一個(gè)前所未有的真空傳動裝置就能助力度過難關(guān)。Ferrotec（中國）以客戶為中心，我們的設(shè)計(jì)和制造能力能夠保證根據(jù)客戶的要求設(shè)計(jì)出適用于客戶應(yīng)用環(huán)境的產(chǎn)品。