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大硅片技術(shù)
大硅片技術(shù)
Ferrotec(中國)12英寸大硅片技術(shù)的突破,尤其是拉單晶技術(shù)、拋光技術(shù),使得硅片生產(chǎn)能力進(jìn)一步升級(jí),逐步實(shí)現(xiàn)300mm半導(dǎo)體硅片20萬片/月的目標(biāo)。
大硅片技術(shù)
Wafers for Semiconductor
技術(shù)設(shè)備能力 生產(chǎn)工藝 技術(shù)發(fā)展路線
Ferrotec(中國)于2002年從東芝陶瓷引進(jìn)了先進(jìn)的100-150mm硅片生產(chǎn)線、加工技術(shù)及管理體系,月產(chǎn)能可達(dá)40萬片。

在此基礎(chǔ)上,通過技術(shù)的引進(jìn)、吸收與創(chuàng)新,研發(fā)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高制程8英寸半導(dǎo)體拋光片制造技術(shù),采用日本半導(dǎo)體用硅片生產(chǎn)加工設(shè)備,如3-way研磨裝置、無花籃式的最終洗凈工藝、AGV搬運(yùn)系統(tǒng)、屋頂搬運(yùn)系統(tǒng)等,導(dǎo)入貼片、研磨、剝離一體的全自動(dòng)拋光線,運(yùn)用Ferrotec(中國)自主研發(fā)的半導(dǎo)體用單晶爐,生產(chǎn)能力進(jìn)一步升級(jí),逐步具備了8"、12"大尺寸半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)能力,實(shí)現(xiàn)了建成國際先進(jìn)水平的大尺寸半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)化、創(chuàng)新研究和開發(fā)基地,力爭成為一家同時(shí)擁有200mm半導(dǎo)體硅片45萬片/月、300mm半導(dǎo)體硅片20萬片/月的硅片供應(yīng)商。


我們的硅片在電阻率、平坦度、顆粒、COP、金屬污染等方面具有良好的控制,主要應(yīng)用于存貯器、邏輯集成電路、功率器件、傳感器等各種領(lǐng)域,可以直接應(yīng)用于CMOS、EPI、SOI、MEMS等各種硅基襯底,彌補(bǔ)了國內(nèi)生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)、汽車、計(jì)算機(jī)、消費(fèi)電子、通訊、工業(yè)、醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)對8"和12"半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片的需求,保證了國內(nèi)市場供應(yīng)硅片的安全性及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的完整和穩(wěn)定性,對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。