在材料產(chǎn)品中，CVD-SiC是頗具成長性的產(chǎn)品，該產(chǎn)品可作為半導體生產(chǎn)設備的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1結合構成的一種化合物，其硬度僅次于鉆石和碳化硼。Ferrotec應用含有硅和碳的氣體即CVD工藝法來進行制造。以硅片為例，采用CVD法將碳化硅涂覆在加工成圓盤狀的石墨基材表面，切削外緣后，通過高溫氧化除去石墨基材，再經(jīng)過數(shù)道后續(xù)加工，硅片就完成了。在能源等高端產(chǎn)業(yè)領域，碳化硅這種高純度材料受到越來越多的關注。
