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精密洗凈技術(shù)
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為應(yīng)對(duì)不斷提升的半導(dǎo)體制程要求,依托美國(guó)、日本等技術(shù)支持,成功完成陶瓷溶射工藝的研發(fā)并量產(chǎn),擁有國(guó)際先進(jìn)的洗凈生產(chǎn)線,努力搶占半導(dǎo)體、TFT產(chǎn)業(yè)技術(shù)制高點(diǎn)。
技術(shù)發(fā)展路線
技術(shù)設(shè)備能力
生產(chǎn)工藝
實(shí)用新型國(guó)家專利
生產(chǎn)工藝
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三槽洗凈
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