新材料技術(shù)
Ferrotec(中國)基于新材料技術(shù),專業(yè)生產(chǎn)精密石英、精密陶瓷、精密硅部件等半導(dǎo)體用新材料。
Ferrotec(中國)在精密石英這一領(lǐng)域擁有精密加工中心、激光切割、水切割、LAP/POLISH等各類型先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備,擁有10000級凈空化學(xué)洗凈及100級純水洗凈室??膳可a(chǎn)12",8"以及8"以下半導(dǎo)體裝置用石英制品,并具備下一代18"石英產(chǎn)品的研發(fā)能力。
Ferrotec石英工廠可以根據(jù)客戶要求選用合適的原材料。主要進(jìn)口材料規(guī)格有:邁圖(原GE)石英公司生產(chǎn)的124、144、214、224(弱堿性)、244 (低鋁成分)、賀利氏HSQ330、HSQ300、TSC-3;日本TOSOH OP-1、OP-3;德國QSIL PI、PN等材料。
擁有多臺高精密檢測設(shè)備——如:三坐標(biāo)測量儀、光譜分析儀、投影儀、粗糙度儀、顯微鏡、厚度儀等多種檢測設(shè)備。
擁有兩百臺以上各類高精度高性能加工機(jī)床——如:數(shù)控加工中心,數(shù)控車床,平面研削機(jī),水切割機(jī),激光切割機(jī),多線切割機(jī),鋸切割機(jī),套筒切割機(jī),圓筒機(jī),無心研削機(jī)、旋盤機(jī)等高精度標(biāo)準(zhǔn)機(jī)床;同時自主開發(fā)的的有自動洗凈線多條,自動精燒機(jī)若干種。